Regulators – Pressure Reducing

Applications

Ultra High Pure Gas Line, Semiconductor Hook-Up Line, Bulk Gas Line

Downloads

Catalog – pdf

Features

• Metal to Metal Diaphragm Seals Leak Tight Integrity
• Internal Surface EP 10 Ra or 5 Ra micro-inch
• All Performed in Class 10 Clean Room
• Available for Semiconductor Applications

Specifications

• Maximum Inlet Pressure: 600 psig (41bar)
• Outlet Pressure Range:
  • 0-60 psig (0-4 bar), 0-100 psig (0-7 bar)
  • 0-150 psig (0-10 bar)
  • 0-250 psig (1-17 bar)
• Operating Temperature Range: -15℉ (-26℃) to 176℉ (80℃)